据SEMI统计，全球半导体设备2020年的市场规模较2019年598亿美元同比增长19％，达到712亿美元的历史新高。中国首次成为全球最大的半导体设备市场，2020年市场规模增长39％，达到187.2亿美元。未来，全球半导体设备市场规模将持续增长，预计2022年将达到1013亿美元。

晶圆缺陷

半导体晶圆检测设备市场空间巨大
目前国内半导体检测技术与国外差距依旧很大，设备主要依靠进口。

大族激光加速设备国产化进程

大族激光洞悉中国半导体检测市场需求，凭借在LED行业的检测技术经验积累，同时以以色列子公司NEXTEC作为平台，延揽以色列资深视觉检测应用研发人才，组建了一支集合中以优秀检测技术专家的实力雄厚的研发团队。结合以色列团队在半导体检测领域的强劲实力、丰富经验，大族激光紧跟国内客户需求，将快速推进半导体晶圆检测设备的国产化进程。



大族以色列团队依托20余年的行业经验，结合大族中国团队的市场化能力，现已推出最新系列检测产品： IFOX系列自动化光学晶圆检测设备。该设备适用于8寸&12寸 bare wafer和frame wafer的2D宏观缺陷检测、尺寸测量和3D Bump测量，可实现对晶圆各种特征的多维度检测。

IFOX系列自动化光学晶圆检测设备


设备优势

1、快：

● 成像质量:使用最先进的相机技术以实现超快速度且极小像差的扫描；
● 量测集成包：大族激光是第一家使用量测集成包的公司，能够以一种简单方便的方式创建一个快速的量测方案；

2、准：

● 光学系统:使用自主先进的大视野显微镜，配有高级照明系统和即时聚焦技术；
● 缺陷查找：使用先进的智能缺陷算法以克服制程工艺带来的变异；
● 直线高精电机，XYZ平台, 100纳米分辨率；
● 机械结构200纳米精度；

3、稳：

● 洁净化设计 (运动平台在晶圆下侧)；
● 浮式基座平台减小设备震动影响。

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